探针

ThermaLever^TM探针

ThermaLever^TM探针区别于以往市面上的普通探针，它是一种批量生产的热探针，主要成分为改性硅元素。探针微悬臂的末端装有加热装置，可使探针以一种可控的速率快速升温至400℃。而普通探针则经常需要一些手工制作，或者由于电阻由金属薄膜制成而仅能升至较低的温度。此外，ThermaLever^TM探针的另一个重要优势是探针针尖的末端半径。以前的热探针末端半径总是比标准AFM探针大很多。而 ThermaLever^TM探针提供的横向分辨率则大大超过其他AFM探针。Anasys 公司有两种型号的ThermaLever^TM探针，AN2-200和AN2-300.所有这些探针的的针尖高度在3μm到6μm之间，微悬臂厚度在2μm左右。AN2-300的弹簧常数较低，主要用于接触模式。而AN2-200共振频率较高，主要用于间歇接触模式。下图所示的是AN系列探针的SEM图。左图显示了整个微悬臂的的形貌而右图显示的是针尖附近的形貌。

下表所列的是两种型号热探针的主要技术参数:

SThM探针

SThM的探针可测量探针尖端温度，因而能实现对试样表面的导热系数或温度变化的扫描成像。表面形貌和热性能成像图的分辨率一般低于100nm。悬臂由SiN制成，内嵌薄金属线且金属线的最高阻抗位置在针尖附近。由于使用了金属薄膜电阻，这类探针不像ThermaLever探针能升至很高的温度。为了便于操作和使用，这类探针的针尖通常先预装在支架上并采用电气连接。下图所示的是GLA探针的SEM扫描图。左图显示了整个悬臂的形貌，右图是针尖附近形貌。