扫描模块：
XY轴模块 MS 50: 扫描范围：50×50mm，分辨率：0.1μm；
Z轴模块 ZM 100：扫描范围：100mm，分辨率：0.1μm；
Z轴模块 NV 350：压电扫描，扫描范围：350μm，分辨率<1nm。
光学模块1)                                   1600S            800L/S/XS      320L/S/XS      160L/S
XY测量范围(um)2                   1600×1600        800×800       320×320       160×160
数值孔径                                         0.3               0.4/0.46/0.6    0.5/0.8/0.95      0.8/0.95
Z方向测量范围(mm)                     10.1                12/3.1/0.9      10.6/0.66/0.3     3.4/0.31
Z方向范围分辨率(nm)   CX           50                    35/30             25/15
                                         CI            20                    6/5/4              4/2/2                   2/1
XY分辨率                                        2.9                    1.5                 0.6                     0.31
注：1) L：长工作距离，S：普通工作距离，XS：短工作距离；
2) noise level (only with NV350)
 
德国Nanofocus是一家全球领先的高科技公司，是微纳米尺度上的光学表面测量技术的全球领导者，生产的光学轮廓仪是科学研究和工业领域广泛应用的先进设备，为大众、宝马、西门子、飞利浦、BOSCH等世界知名企业提供精密的解决方案。

德国Nanofocus公司的表面光学轮廓仪在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，Nanofocus为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。

Nanofocus的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法。

NanoFocus有两种光学测量系统：μSurf(白光共轭焦轮廓仪)和μScan(激光轮廓测量仪)
产品类型：白光、共焦、非接触
μSurf结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物鏡垂直移动，以类似断层摄影方式，精确量测物体高度。
由于使用了共轭焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他同类公司产品使用较多的干涉法相比，可以精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

应用:
μSurf用来测量表面物理形貌，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本。
☆精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸；
☆生命科学：测量stents支架上镀层厚度等；
☆微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等；
☆半导体: 检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计。