传感器模块                   AF4                           CF4
测量技术                   自动对焦                       共焦
Z轴测量范围(mm)          1.5                             1
Z轴分辨率(um)             0.025                          0.1

光点大小(um)                  1                               1.5
工作距离(mm)                   2                               4
测量频率(KHz)           10KHZ                          1KHZ

Camera选购                   同轴                            侧向
 
 
德国Nanofocus是一家全球领先的高科技公司，是微纳米尺度上的光学表面测量技术的全球领导者，生产的光学轮廓仪是科学研究和工业领域广泛应用的先进设备，为大众、宝马、西门子、飞利浦、BOSCH等世界知名企业提供精密的解决方案。

德国Nanofocus公司的表面光学轮廓仪在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，Nanofocus为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。

Nanofocus的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法。

NanoFocus有两种光学测量系统：μSurf(白光共轭焦轮廓仪)和μScan(激光轮廓测量仪)
产品说明：
μScan采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sens、Autofocus sens、Chromatic white light sens、Holographic sens等。
AF2 自动对焦（Autofocus)
借由探测器的回馈讯号调整物镜位置，得到待测物焦点，而获得待测物的确实高度。
CF4 共焦（Confocal, Laser)
激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，此时偵测器能经由孔洞得到最大光的强度，如此侦测器根据此讯号确定其位置。

应用：
集成电路封装和表面贴片技术
厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量
精密部件